Ngành công nghiệp bán dẫn đòi hỏi các linh kiện có khả năng hoạt động chính xác, sạch sẽ và ổn định lâu dài trong các điều kiện ngày càng khắt khe. Vòng trượt trục rỗng JINPAT LPTđược phát triển đặc biệt cho những thách thức này, cung cấp khả năng truyền động quay đáng tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao và chân không cao thường thấy trong các thiết bị xử lý bán dẫn tiên tiến. Với thiết kế ưu tiên độ bền, kiểm soát ô nhiễm và hiệu suất điện, dòng LPT hỗ trợ các nhà sản xuất bán dẫn toàn cầu trong việc duy trì chất lượng sản xuất ổn định.
Vỏ thép không gỉ của vòng trượt, được chế tạo từ SUS304, mang lại khả năng chống chịu cao với ứng suất nhiệt và biến dạng cơ học. Bên trong thiết bị, các vòng dẫn điện bằng hợp kim nhiệt độ cao và các tiếp điểm composite kim loại quý đảm bảo truyền tín hiệu và nguồn điện ổn định, ngay cả khi hoạt động kéo dài trên 200°C. Cấu trúc bên trong được thiết kế để quản lý nhiệt hiệu quả, giảm thiểu sự giãn nở và duy trì tiếng ồn điện thấp trong suốt chu kỳ sản xuất.
Khả năng tương thích chân không là một tính năng xác định khác của dòng LPT. Các quy trình bán dẫn dựa vào môi trường chân không được kiểm soát chặt chẽ, nơi ô nhiễm phải được giảm xuống gần bằng không. Để đáp ứng các tiêu chuẩn này, vòng trượt kết hợp thiết kế khô, không cần bôi trơn, loại bỏ khả năng giải phóng hơi dầu. Hệ thống niêm phong đa giai đoạn và vật liệu ít bay hơi duy trì độ kín khí tuyệt vời. Ngoài ra, thiết kế không chứa ion đồng ngăn ngừa ô nhiễm kim loại—một lợi thế quan trọng trong sản xuất wafer và các quy trình nhạy cảm khác.
Vòng trượt trục rỗng LPT đã được sử dụng thành công trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn. Sự kết hợp giữa độ bền nhiệt, độ ổn định cơ học và độ sạch chân không đã giúp nó được công nhận rộng rãi trong số các nhà sản xuất thiết bị đang tìm kiếm các giải pháp truyền động đáng tin cậy và tuổi thọ cao. Cho dù được tích hợp vào hệ thống xử lý wafer, mô-đun kiểm tra hay thiết bị quay chân không, dòng LPT đều góp phần cải thiện độ ổn định hoạt động và độ tin cậy của quy trình.
Khi công nghệ bán dẫn tiếp tục phát triển, nhu cầu về thiết bị sẽ ngày càng khắt khe hơn. JINPAT vẫn cam kết hỗ trợ các nhà sản xuất toàn cầu bằng cách phát triển các giải pháp vòng trượt hiệu suất cao dựa trên vật liệu tiên tiến, kỹ thuật chính xác và các tiêu chuẩn kiểm soát ô nhiễm nghiêm ngặt. Dòng LPT đại diện cho cam kết này, cung cấp một giao diện quay chắc chắn và đáng tin cậy được thiết kế để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của ngành công nghiệp bán dẫn trên toàn thế giới.